根據ISO 14644-1標準，1000級無塵車間也稱為ISO 6級無塵車間，是一種受控環境，旨在保持極低的空氣傳播微粒水平。具體來說，它允許每立方英尺空氣中不超過1,000個顆粒(顆粒≥0.5 微米)，即每立方米不超過35,200個顆粒。
顆粒濃度限制
顆粒≥0.5微米：每立方英尺1,000個顆粒(每立方米35,200個顆粒)顆粒≥ 5.0微米：每立方米293個顆粒。
氣流和過濾
HEPA過濾器(高效微粒空氣過濾器)：這些過濾器必須至少去除99.97%直徑為0.3微米的空氣顆粒。層流：通常用于確保空氣以單一方向流動，減少湍流和顆粒污染的可能性。高換氣率：通常每小時換氣150-240次左右，以保持所需的潔凈度。
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