根據 ISO 14644-1標準，100級潔凈廠房也稱為ISO 5級潔凈廠房，是一種高度受控的環境，旨在保持極低的空氣傳播微粒水平。具體來說，它允許每立方英尺空氣中的顆粒物不超過100個，顆粒物≥0.5微米，即每立方米空氣中的顆粒物不超過3520個。
氣流和過濾
HEPA 過濾器(高效微粒空氣過濾器)： 這些過濾器必須至少去除 99.97% 直徑為 0.3 微米的空氣顆粒。
層流：通常用于確保空氣以單一方向流動，減少湍流和顆粒污染的可能性。
高換氣率： 通常每小時換氣約 240-480 次，以保持所需的潔凈度。
操作規程
嚴格的穿衣程序： 工作人員必須穿戴全身防護服、頭罩、手套、口罩和鞋套，以防止污染。
定期清潔： 必須遵循徹底的清潔規程，以保持潔凈度水平。
應用
半導體制造： 微小的污染會影響電子元件的功能。
制藥： 特別是無菌產品的生產。
生物技術： 污染會影響生物實驗或產品。
航空航天： 用于敏感元件的組裝。
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