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首頁 新聞中心 行業(yè)資訊 百級千級芯片潔凈車間FFU布置率怎么計算?

百級千級芯片潔凈車間FFU布置率怎么計算?

2024-12-16
共有2900家企業(yè)看過

  在半導(dǎo)體制造業(yè)中,潔凈車間的環(huán)境控制是至關(guān)重要的。尤其是對于百級和千級芯片潔凈車間,F(xiàn)FU(Fan Filter Unit,即風(fēng)機過濾單元)的布置率直接影響到生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度和穩(wěn)定性。合潔科技電子潔凈工程公司將詳細(xì)介紹如何計算百級和千級芯片潔凈車間的FFU布置率,以便工程師和設(shè)計師能夠合理規(guī)劃潔凈車間的空氣凈化系統(tǒng)。

  一、潔凈車間等級與換氣次數(shù)

  首先,我們需要明確潔凈車間的等級。根據(jù)ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn),潔凈車間可以分為多個等級,常見的有十級、百級、千級、萬級和十萬級等。等級數(shù)字越小,表示潔凈度越高,空氣中的粒子濃度越低。

  對于百級和千級潔凈車間,換氣次數(shù)是一個關(guān)鍵參數(shù)。換氣次數(shù)指的是每小時內(nèi)車間內(nèi)空氣被完全更換的次數(shù)。根據(jù)經(jīng)驗和實踐,百級潔凈車間的換氣次數(shù)通常大于等于200次/小時,而千級潔凈車間的換氣次數(shù)則在50至100次/小時之間。

  二、FFU布置率計算方法

  FFU布置率的計算主要基于車間的體積、換氣次數(shù)以及FFU的額定風(fēng)量。以下是具體的計算步驟:

  1、確定車間體積:首先,需要測量潔凈車間的面積和高度,然后計算車間體積。例如,如果車間面積為100平方米,高度為3米,則車間體積為300立方米。

  2、選擇換氣次數(shù):根據(jù)潔凈車間的等級,選擇合適的換氣次數(shù)。對于百級潔凈車間,可以選擇200次/小時或更高的換氣次數(shù);對于千級潔凈車間,可以選擇50至100次/小時之間的換氣次數(shù)。

  3、確定FFU額定風(fēng)量:FFU的額定風(fēng)量是指每個FFU在單位時間內(nèi)能夠處理的空氣量。不同品牌和型號的FFU額定風(fēng)量可能有所不同,因此在選擇時需要仔細(xì)比較。

  4、計算FFU數(shù)量:根據(jù)車間體積、換氣次數(shù)和FFU額定風(fēng)量,可以計算出所需的FFU數(shù)量。計算公式為:FFU數(shù)量 = 車間體積 × 換氣次數(shù) ÷ FFU額定風(fēng)量。例如,對于300立方米的車間,如果選擇200次/小時的換氣次數(shù)和1500立方米/小時的FFU額定風(fēng)量,則所需FFU數(shù)量為:300 × 200 ÷ 1500 = 40個。


芯片潔凈車間的圖片


  三、考慮其他因素

  在計算FFU布置率時,還需要考慮以下因素:

  1、車間布局:潔凈車間的布局會影響空氣的流動和分布。例如,如果車間內(nèi)有大型設(shè)備或障礙物,需要特別關(guān)注這些區(qū)域的空氣流動情況,并可能需要增加FFU數(shù)量以確保空氣潔凈度。

  2、氣流組織:氣流組織是指車間內(nèi)空氣的流動方式和方向。合理的氣流組織可以提高空氣凈化效率,減少粒子污染。在設(shè)計時,需要確保氣流從潔凈區(qū)域流向非潔凈區(qū)域,避免交叉污染。

  3、FFU布置方式:FFU的布置方式也會影響空氣凈化效果。常見的布置方式包括吊頂安裝、墻面安裝和地面安裝等。在選擇布置方式時,需要考慮車間的結(jié)構(gòu)、設(shè)備布局和人員操作等因素。

  4、維護(hù)和管理:FFU的維護(hù)和管理對于保持潔凈車間的空氣潔凈度至關(guān)重要。需要定期檢查和更換過濾器,清洗FFU表面和內(nèi)部組件,以確保其正常運行和高效過濾。

  四、結(jié)論

  FFU布置率的計算是潔凈車間設(shè)計的重要環(huán)節(jié)之一。通過合理選擇換氣次數(shù)、準(zhǔn)確測量車間體積和確定FFU額定風(fēng)量,可以計算出所需的FFU數(shù)量。同時,還需要考慮車間布局、氣流組織、FFU布置方式以及維護(hù)和管理等因素,以確保芯片潔凈車間的空氣潔凈度和穩(wěn)定性。在實際設(shè)計中,可以根據(jù)具體情況進(jìn)行調(diào)整和優(yōu)化,以滿足生產(chǎn)需求和產(chǎn)品質(zhì)量要求。

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