芯片凈化車間的等級劃分主要依據國際標準化組織(ISO)制定的ISO 14644系列標準，以及行業內廣泛認可的美國聯邦標準209E。以下是按照ISO 14644-1標準對芯片凈化車間等級的具體劃分，今天就隨合潔科技電子凈化工程公司一起來了解下吧!

　　一、等級劃分與標準

　　1、ISO 1級(Class 1)：

　　適用于最高級別的芯片制造，如微處理器、存儲器等。

　　要求空氣中的微粒濃度不超過0.1個每立方米(0.1個/?)。

　　2、ISO 2級(Class 10)：

　　適用于高級別的芯片制造，如模擬器件、光電器件等。

　　要求空氣中的微粒濃度不超過10個/?。

　　3、ISO 3級(Class 100)：

　　適用于一般的芯片制造，如數字器件、邏輯器件等。

　　要求空氣中的微粒濃度不超過100個/?。

　　4、ISO 4級(Class 1000)：

　　適用于較低級別的芯片制造，如傳感器、電容器等。

　　要求空氣中的微粒濃度不超過1000個/?。

　　5、ISO 5級(Class 10000)：

　　適用于一些較為簡單的芯片制造，如LED、LCD等。

　　要求空氣中的微粒濃度不超過10000個/?。

　　6、ISO 6至ISO 9級：

　　這些級別主要用于對潔凈度要求不高的工業應用。

　　在這些環境中，雖然會采取一定的空氣凈化措施，但空氣中的顆粒物濃度相對較高，不適合高精度芯片制造。

　　二、等級選擇與應用

　　在芯片制造過程中，不同的工藝步驟對潔凈度的要求不同。例如：

　　光刻、刻蝕、離子注入等關鍵步驟：這些步驟對潔凈度的要求極高，任何微小的污染都可能導致芯片缺陷。因此，這些步驟通常在ISO 4至ISO 6級的潔凈間中進行。

　　芯片測試：測試環節對潔凈度的要求也較高，通常需要在ISO 5(Class 100)級或更高級別的潔凈間中進行，以確保測試結果的準確性和可靠性。

　　三、潔凈度控制措施

　　為了確保芯片凈化車間的潔凈度達到要求，需要采取一系列控制措施，包括：

　　高效的空氣過濾系統：如HEPA過濾器和ULPA過濾器等，可以過濾掉空氣中的微粒和細菌。

　　正壓控制：通過保持車間內部的正壓，防止外部污染物進入。

　　溫濕度精密調控：確保車間內的溫度和濕度處于穩定狀態，以避免對芯片制造過程產生不良影響。

　　表面清潔系統：包括干燥氣體清洗、離子束清洗和化學清洗等，用于去除表面的微粒、細菌和化學物質。

　　人員潔凈系統：要求人員穿著潔凈服、潔凈鞋和潔凈帽等，以防止人員身上的微粒、細菌和化學物質進入車間。

　　綜上所述，芯片凈化車間的等級劃分標準是根據空氣中允許的顆粒物數量和大小來確定的，不同的工藝步驟和測試環節對潔凈度的要求不同，因此需要采取相應的控制措施來確保潔凈度達到要求。