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半導體潔凈車間噪音標準規范和注意事項

2024-03-15
共有2548家企業看過

  在半導體潔凈車間中,噪音控制是非常重要的,因為噪音可能會對生產設備、工作人員和產品質量造成影響。以下是合潔科技電子凈化工程關于半導體潔凈車間噪音標準和規范的一般性指導:

  一、半導體潔凈車間噪音標準和規范:

  1、ISO 14644標準:

  ISO 14644系列標準是關于半導體潔凈車間和相關受控環境的國際標準,其中也包含了對噪音水平的一些要求。這些標準通常規定了潔凈室內的噪音水平限制,以確保生產環境符合特定的潔凈度等級要求。

  2、國家標準:

  不同國家可能有針對噪音控制的具體標準和規范,例如對于工業環境中的噪音限制。在設計和運行半導體潔凈車間時,應遵守所在國家的相關標準。

  3、設備噪音控制:

  在選擇和安裝生產設備時,應考慮設備本身的噪音水平,并選擇低噪音的設備。此外,可以采取吸音、隔音措施,以減少設備產生的噪音傳播。


半導體潔凈車間的圖片


  4、工藝控制:

  優化生產工藝,減少可能產生噪音的環節,如減少機械振動、避免沖擊噪音等。

  5、隔音設計:

  對于半導體潔凈車間的設計,應考慮隔音措施,如使用吸音材料、隔音墻壁等,以減少外部噪音對車間內部的影響。

  6、定期檢測和監測:

  定期對潔凈車間內的噪音水平進行監測和檢測,確保噪音控制在合適的范圍內,并及時采取措施進行調整。

  7、員工培訓:

  對工作人員進行噪音危害的培訓,教育他們如何正確佩戴耳塞或耳罩等個人防護設備,以減少長期暴露于噪音環境下可能帶來的健康風險。

  二、半導體潔凈車間的建設應注意以下幾點:

  1、因技術經濟條件限制,或噪聲超過70分貝且不影響生產的,可適當降低噪聲級,但不應超過75分貝。

  2、以上噪聲級是指在室內各工作點的人耳位置(人在遠處)的測量值。對于波動噪聲,在正常工作日期間在同一位置獲得等效的連續聲壓級。

  a、半導體潔凈車間噪聲頻譜限值宜采用倍頻帶聲級,各頻帶聲壓級不應超過1級。

  b、半導體潔凈車間規劃和斷面布置應考慮噪聲控制要求,圍護結構應具有良好的隔聲性能,各斷面隔聲效果應不相近。

  c、半導體潔凈車間中的各類設備應采用低噪音產品。對于輻射噪聲超過潔凈室允許值的設備,必須配備專用隔聲設備(隔聲室、隔聲罩等)。

  d、半導體潔凈車間凈化空調系統噪聲超過允許值時,應采取隔聲、消聲、隔音等控制措施。除了意外排氣外,潔凈室的排氣系統也需要進行降噪設計。

  綜合考慮以上因素,半導體潔凈車間應該遵循相關的噪音標準和規范,通過設備選擇、工藝控制、隔音設計等措施,有效控制噪音水平,保障生產環境的安靜和員工的健康。

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