半導體產品的生產不僅對潔凈度有著高要求，對溫濕度也有著高要求，那么，半導體無塵車間設計施工時如何保障溫濕度控制的呢?今天就隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來了解下吧!

　　半導體無塵車間通常采用新風空調箱+風機過濾單元+干冷盤管的設計，即新風空調箱將具有一定潔凈等級和溫濕度的新風送到潔凈室的回風通道中，與循環回風進行混合后進入潔凈室吊頂上方，通過風機過濾單元FFU后進入潔凈室生產區域，從而基本達到無塵室的溫濕度、潔凈度及正壓度的要求。由于整個潔凈室內擺滿了各種生產機器，這些機器都保持持續的運轉，會產生大量的熱量，這些熱量又將通過回風通道內的干盤管進行冷卻而被帶走，從而達到維持長時間穩定的溫濕度環境。

　　對于半導體無塵車間的溫濕度控制，主要的兩塊是新風空調箱和干盤管。新風空調箱除了要保證外界大氣經過其中的初、中和高效過濾網，把空氣中的粉塵顆粒過濾掉外，還要根據潔凈室里面的溫濕度情況調整出風口的溫濕度以保證送入的新風在規定的溫濕度范圍內。而干盤管是根據潔凈室里面安裝的溫濕度傳感器測量的值來調整干盤管冷水閥的開度，進而調節回風和送風混合后的溫濕度，以保證滿足半導體工藝的溫濕度需求。

　　由于每種工藝制程設備的發熱量大不相同，導致半導體無塵車間內的機臺發熱量分布不均勻，例如爐管機臺的發熱量相較于其他設備大得多(基本在3 -5倍之間)，因此必須在潔凈室內用干盤管帶走這些熱量。通常要求同一制程的氣流經過同一組DCC，在建筑已經確定的情況下，制程的分布要與回風道垂直。如果條件允許，最好是將不同制程的區域隔開，這樣既可避免金屬粒子污染，又能提高溫濕度控制的穩定性。

　　通常情況下，潔凈室的溫濕度控制在22+/-0.5°C，45%+/-3%RH，MAU 的送風溫度基本控制在21°C-21.5°C，在與循環風混合后，FFU 出風口的溫度控制在22°C，這樣，經過工作層面后溫度將會再上升，在機臺滿載的情況下上升溫度會基本穩定。