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首頁 新聞中心 行業(yè)資訊 半導(dǎo)體無塵車間系統(tǒng)設(shè)計如何控制除濕

半導(dǎo)體無塵車間系統(tǒng)設(shè)計如何控制除濕

2023-12-11
共有2118家企業(yè)看過

  近年來半導(dǎo)體行業(yè)的興起,其全新的生產(chǎn)工藝及生產(chǎn)過程中對環(huán)境溫、濕度、潔凈度的較高要求,需要我們提供一個比較有效且比較低能耗的空調(diào)系統(tǒng),特別需要有低濕度的空調(diào)環(huán)境保證,而半導(dǎo)體無塵車間就能提供這樣一個良好環(huán)境。除濕控制是半導(dǎo)體無塵車間系統(tǒng)設(shè)計重點,今天就隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來了解下吧!

  目前,空氣除濕主要有四種方式,通風(fēng)除濕、冷卻除濕、液體吸濕劑除濕和固體吸附劑除濕。在空調(diào)除濕系統(tǒng)中,冷卻除濕和固體吸附劑除濕是主要手段。冷卻除濕在環(huán)境對濕度要求不是很高(RH≯60~65%)的條件下,效果還是比較好,性能穩(wěn)定且能耗也比較低,目前應(yīng)用比較廣泛。但在生產(chǎn)環(huán)境對濕度要求較高(RH=45±5%)的地方,采用冷卻除濕就明顯是不經(jīng)濟的。采用轉(zhuǎn)輪除濕機,將不受空氣露點影響,且除濕量大,特別適用于低濕條件下,但如果全部除濕僅采用固態(tài)吸附原理的轉(zhuǎn)輪除濕機進行,由于其再生耗能量也比較大,此種方案也不是很經(jīng)濟的。由于轉(zhuǎn)輪除濕和冷卻除濕各有所長,將其優(yōu)化組合,各取所長,互補所短,會更好的發(fā)揮其效能。


半導(dǎo)體無塵車間


  半導(dǎo)體生產(chǎn)的無塵車間要在全年四季的氣候條件下,生產(chǎn)車間內(nèi)部要求維持穩(wěn)定的環(huán)境,特別是對于生產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、空氣潔凈度、氣流組織,壓力平衡等多個空調(diào)參數(shù)都提出了嚴(yán)格的要求。有別于其他的恒溫恒濕環(huán)境系統(tǒng)的要求,由于電子產(chǎn)品對靜電的敏感性和高濕度環(huán)境對其品質(zhì)的影響,其對濕度的精度提出了嚴(yán)格要求,對于空調(diào)系統(tǒng)的配置,則要求系統(tǒng)同時具備夏季除濕的功能和冬季加濕的功能。

  一般的,半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè)的溫濕度條件為:T=22±2°C,RH=45±5%;而對于這個溫濕度要求,傳統(tǒng)上經(jīng)常采用冷凍除濕+后加熱(再熱)方式進行處理,并取得了一定成果。但這種方式卻存在著一個致命問題,冷熱的抵消和能耗的巨大浪費,特別是由于半導(dǎo)體行業(yè)的大新風(fēng),大排風(fēng)系統(tǒng)、生產(chǎn)環(huán)境為大空間潔凈環(huán)境以及目前許多廠主要集中分布在華南和華東地區(qū)的特殊情況,使得這個問題十分突出。

  因此,現(xiàn)如今許多半導(dǎo)體無塵車間廠房的空調(diào)系統(tǒng)開始使用新風(fēng)通過新風(fēng)機組(冷卻除濕)和轉(zhuǎn)輪除濕機聯(lián)合處理濕度、溫度而后通過后空調(diào)機組處理的組合方式,達到室內(nèi)送風(fēng)溫、濕度要求,并取得了很好的效果。

EPC無塵凈化工程案例

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