合潔科技電子凈化工程公司介紹說，半導體潔凈廠房裝修要根據實踐的出產流程設定相應的功能間，需要考慮人員物流的走向和作業效率，在平面計劃初步斷定的基礎上，再斷定潔凈區與非潔凈區，潔凈區的潔凈等級;然后斷定相應的換氣次數或是截面風速;然后安置送回風口，規劃潔凈送風機組(大小、方位、風機空調選型等)，規劃送回新風管道等。

　　半導體潔凈廠房裝修的平面布局，一般包括無塵區、準無塵區和輔佐區三部分。平面安置能夠有以下幾種方法:外廊盤繞式，外廊能夠有窗和無窗，兼作觀賞和放置一些設備用，有的在外廊內設直勤采暖。外窗有必要是雙層密封窗。內廊式，車間設在外圍，而走廊設在內部，這種走廊的無塵度等級一般都較高，乃至和無塵車間同級。兩頭式，無塵區設在一邊，另一邊設準無塵和輔佐用房。中心式，為了節省用地、縮短管線，能夠無塵區為中心，上下左右被各種輔佐用房和蔭蔽管道的空間包圍起來，這種方法避開室外氣候對無塵區的影響，削減了冷熱能耗，利于節能。

　　為了在操作中盡量削減人活動發生的污染，人員在進入無塵區之前，有必要替換無塵服并洗手、消菌、過風淋，這些措施即人員凈化。人員凈化用房中替換無塵服的房間應予送風，并對進口側等其他房間堅持正壓，對廁所、淋浴堅持少量正壓，而廁所、淋浴應堅持負壓。物料凈化道路，各種物件在送入無塵區前有必要通過凈化處理，物料凈化道路與人凈道路應分隔，如果物料與人員只能在同一處進入半導體潔凈廠房，也有必要分門而入，物料先通過粗凈化處理。

　　關于出產流水線不強的場合在物料道路中心可設中心庫，如果出產流水線很強，則選用直通式物料道路，有時還需在直通道路中心設傳遞設備。

　　在體系規劃上，物凈用房的粗凈化和精凈化階段由于會吹落很多生微粒，所以相對無塵區應堅持負壓或零壓，如果污染性大則對進口方向也要堅持負壓。無塵車間的管線十分復雜，所以對這些管線均選用隱蔽組織方法;詳細隱蔽組織方法有以下幾種。技能夾層，頂部技能夾層，在這種夾層內一般因送、回風管的斷面大，故作為夾層內首要考慮的目標。一般將其組織在夾層的上方其下組織電氣管線。當這種夾層的底板可接受必定分量時，能夠在上面設置過濾器及排風設備等。

　　房間技能夾層，這種方法和頂部夾層比較，能夠削減夾層的布線與高度，能夠省去回風管道返回上夾層所需的技能夾道，夾道內還可設回風機動力設備配電等，車間的上夾道能夠兼做上一層的下夾道。技能夾道(墻)，上下夾層內的水平管線一般都要轉向為豎向管線，這此豎向管線地點的蔭蔽空間即技能夾道。

　　這類技能夾道(墻)由于大多選用輕質間隔，所以當工藝調整時，可方便地進行調整。技能豎井，如果說技能夾道(墻)往往不越層，則需求越層時即用技能豎井，而且常常作為修建結構的一部分。

　　由于技能豎井把各層勾結起來，為了防火內部管線安裝完成后，要在層間用耐火極限不低于樓板，檢修作業分層進行，檢修門有必要設防火門。不管技能夾層，技能夾道還是技能豎井，當直接兼作風道時，其內外表有必要按無塵車間的內外表的要求處理。